磁控溅射靶材分类

常规金属靶材：

铝靶材Al、铜靶材Cu、铬靶材Cr、钡靶材Ba、铋靶材Bi、镉靶材Cd、锆靶材Zr、锌靶材Zn、镍靶材Ni、钴靶材Co、钙靶材Ca、铌靶材Nb、铟靶材In、钨靶材W、钼靶材Mo、钒靶材V、铁靶材Fe、钛靶材Ti、铪靶材Hf、钇靶材Y、钽靶材Ta、锂靶材Li、镁靶材Mg、锡靶材Sn、锰靶材Mn、铅靶材Pb、硅靶材Si、铍靶材Be、铜靶材Cu、钪靶材Sc

贵金属靶材：

银靶材Ag、金靶材Au、铂靶材Pt、钯靶材Pd、铑靶材Rh、铱靶材Ir、铼靶材Re、钌靶材Ru

稀土金属靶材：

镧靶材La、铈靶材Ce、镨靶材Pr、钕靶材Nd、钐靶材Sm、铕靶材Eu、钆靶材Gd、铽靶材Tb、镝靶材Dy、钬靶材Ho、铒靶材Er、铥靶材Tm、镱靶材Yb、镥靶材Lu

非金属靶材：

石墨靶材C、硼靶材B、锗靶材Ge、硒靶材Se、锑靶材Sb、碲靶材Te

合金溅射靶材：

钛铝合金靶材TiAl、钛钨合金靶材TiW、钨镍合金靶材WNi、镍铬合金靶材NiCr、镍钛合金靶材NiTi、镍钒合金靶材NiV、镍铁合金靶材NiFe、铁钴镍铌合金靶材FeCoNiNb、钴铁硼合金靶材CoFeB、铁锰合金靶材FeMn、铁镓合金靶材FeGa、铜镓合金靶材CuGa、锰镓合金靶材MnGa、钨铼合金靶材WRe、铱锰合金靶材IrMn、铜铟镓硒合金靶材CIGS、钼铼合金靶材MoRe、铟锡合金靶材InSn、金锡合金靶材AuSn、金锗镍合金靶材AuGeNi、金锗合金靶材AuGe、锌铝合金靶材ZnAl、铝铜合金靶材AlCu、锆钛合金靶材ZrTi、铜锌锡硫合金靶材CZTS、钴铌锆合金靶材CoNbZr、钴钽锆合金靶材CoTaZr、铽钴合金靶材TbCo、铽铁钴合金TbFeCo

陶瓷溅射靶材：

五氧化二钽靶材Ta2O5、氧化饵靶材Er2O3、钛酸钡靶材BaTiO3、钛酸锶钡靶材BST、氧化铈靶材CeO2、硫化锌靶材ZnS、氧化铝靶材Al2O3、氮化铝靶材AlN、氧化铋靶材Bi2O3、硒化铋靶材Bi2Se3、碲化铋靶材Bi2Te3、铁酸铋靶材BiFeO3、氮化硼靶材BN、碳化硼靶材B4C、氧化锌铝靶材AZO、羟基磷灰石靶材Ca2O5P、氧化镉靶材CdO、硫化镉靶材CdS、硒化镉CdSe、碲化镉CdTe、三氧化钨靶材WO3、氮化锆靶材ZrN、氧化锆靶材ZrO2、氧化亚钴靶材CoO、氧化镍靶材NiO、碳化钨靶材WC、碳化锆靶材ZrC、二硼化锆靶材ZrB2、氧化锌靶材ZnO、铌酸锂靶材LiNbO3、氧化钕靶材Nd2O3、五氧化二铌靶材Nb2O5、氧化镱靶材Yb2O3、锑化锌靶材Zn3Sb2、硒化锌靶材ZnSe、碲化锌ZnTe、氧化铬靶材Cr2O3、二硫化钨靶材WS2、氧化铜靶材CuO、氧化亚铜靶材Cu2O、硫化铜靶材CuS、三氧化钼靶材MoO3、硫化亚铜靶材Cu2S、聚四氟乙烯靶材C2F4、二硫化钼靶材MoS2、五氧化二钒靶材V2O5、三氧化二铁靶材Fe2O3、四氧化三铁靶材Fe3O4、FTO靶材、二氧化钒靶材VO2、氧化镓靶材Ga2O3、氧化钆靶材Gd2O3、二氧化钛靶材TiO2、三氧化二钛靶材Ti2O3、氮化钛靶材TiN、碳化钛靶材TiC、二硼化钛靶材TiB2、碲化锗靶材GeTe、二硒化锗靶材GeSe2、氧化锌镓靶材GZO、二氧化铪靶材HfO2、氧化钇靶材Y2O3、钇铁石榴石靶材Y3Fe5O12、氧化铟镓锌靶材IGZO、氧化铟靶材In2O3、硫化铟靶材In2S3、硒化铟In2Se3、氧化铟锡靶材ITO、氧化镧靶材La2O3、氟化锂靶材LiF、钴酸锂靶材LiCoO2、磷酸锂靶材Li3PO4、磷酸铁锂靶材LiFePO4、钛酸锂靶材Li4Ti5O12、氮化钽靶材TaN、碳化钽靶材TaC、氧化镁靶材MgO、氟化镁靶材MgF2、二氧化锰靶材MnO2、氧化钪靶材Sc2O3、氧化锑靶材Sb2O3、硒化锑靶材Sb2Se3、碲化锑靶材Sb2Te3、二氧化锡靶材SnO2、一氧化锡靶材SnO、钛锆酸铅靶材PZT、二硫化硒靶材SnS2、硒化锡SnSe、氧化钐靶材Sm2O3、二氧化硅靶材SiO2、一氧化硅靶材SiO、氮化硅靶材Si3N4、碳化硅靶材SiC、氧化铕靶材Eu2O3、IWO靶材、氧化铥靶材Tm2O3、二氧化钼靶材MoO2、钽酸锂靶材、氟化铝靶材AlF3、铁酸钡靶材BaFeO3、钴酸镧靶材LaCoO3、氟化钠靶材NaF