陶瓷溅射靶材
产品简介
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| 品名 | 化学符号 | 纯度(%) | 熔点(℃) | 密度（g/cm³） | 状态 |
| 氧化物类 | |||||
| 一氧化硅 | SiO | 4N | 1702 | 2.10 | 靶材 |
| 一氧化钛 | TiO | 3N | 1750 | 4.93 | 靶材 |
| 二氧化硅 | SiO2 | 4N | 1610 | 2.20 | 靶材 |
| 二氧化铪 | HFO2 | 4N | 2812 | 9.70 | 靶材 |
| 二氧化钛 | TiO2 | 4N | 1800 | 4.29 | 靶材 |
| 二氧化锆 | ZrO2 | 4N | 2700 | 5.50 | 靶材 |
| 二氧化铈 | CeO2 | 4N | 2600 | 7.30 | 靶材 |
| 三氧化钨 | WO3 | 3N | 1473 | 7.10 | 靶材 |
| 三氧化二钛 | Ti2O3 | 3N | 1880 | 4.53 | 靶材 |
| 三氧化二钪 | Sc2O3 | 4N | 2300 | 3.86 | 靶材 |
| 五氧化二铌 | Nb2O5 | 4N | 1530 | 4.47 | 靶材 |
| 氧化铝 | Al2O3 | 3N | 2045 | 4.00 | 靶材 |
| 氧化锌 | ZnO | 4N | 1975 | 5.60 | 靶材 |
| 氧化镁 | MgO | 4N | 2800 | 3.58 | 靶材 |
| 氧化铋 | Bi2O3 | 4N | 820 | 8.90 | 靶材 |
| 氧化铬 | Cr2O3 | 4N | 2435 | 5.20 | 靶材 |
| 氧化钕 | Nd2O3 | 4N | 2272 | 7.20 | 靶材 |
| 氧化镍 | NiO | 4N | 1990 | 7.45 | 靶材 |
| 氧化钐 | Sm2O3 | 4N | 2350 | 7.40 | 靶材 |
| 氧化钒 | V2O5 | 4N | 690 | 3.36 | 靶材 |
| 氧化钇 | Y2O3 | 4N | 2680 | 4.80 | 靶材 |
| 氧化铒 | Er2O3 | 4N | 2378 | 8.64 | 靶材 |
| 氧化铟锡 | ITO | 4N | 1565 | 7.60 | 靶材 |
| 氟化物类 | |||||
| 氟化钠 | NaF | 4N | 988 | 2.79 | 靶材 |
| 氟化钙 | CaF2 | 4N | 1360 | 3.13 | 靶材 |
| 氟化钡 | BaF2 | 4N | 1280 | 4.80 | 靶材 |
| 氟化镁 | MgF2 | 4N | 1266 | 4.20 | 靶材 |
| 氟化镧 | LaF3 | 4N | 1490 | 6.00 | 靶材 |
| 氟化钾 | KF | 4N | 880 | 2.48 | 靶材 |
| 氟化铈 | CeF3 | 4N | 1418 | 6.16 | 靶材 |
| 氟化锶 | SrF3 | 3N | 1450 | 4.24 | 靶材 |
| 氟化钕 | NdF3 | 3N | 1410 | 6.50 | 靶材 |
| 氟化镝 | DyF3 | 3N | 1360 | 靶材 | |
| 氟化钐 | SmF3 | 4N | 1306 | 靶材 | |
| 氟化镱 | YbF3 | 4N | 1157 | 8.17 | 靶材 |
| 氟化钇 | YF3 | 4N | 1387 | 4.01 | 靶材 |
| 氟化饵 | ErF3 | 4N | 1350 | 靶材 | |
| 其他 | |||||
| 硒化锌 | ZnSe | 5N | 1526 | 5.42 | 靶材 |
| 碳化硅 | SiC | 4N | 2700 | 3.22 | 靶材 |
| 硫化锌 | ZnS | 4N | 1830 | 4.10 | 靶材 |
| 钛酸锶 | SrTiO3 | 4N | 2080 | 5.11 | 靶材 |
| 钛酸钡 | BaTiO3 | 4N | 1620 | 3.96 | 靶材 |
| 氮化硼 | BN | 4N | 3000 | 2.25 | 靶材 |
| 氮化铝 | AlN | 4N | 3.26 | 靶材 | |
| 氮化硅 | Si3N4 | 4N | 3.44 | 靶材 | |
| 氮化钛 | TiN | 4N | 2950 | 5.43 | 靶材 |
2014-10-29 13:35
